ミニマルスプレーコーター
半導体関連
つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。同装置以外にもスプレーコーター等を弊社で製作している。
| 簡易スペック |
・表裏アライメントマーク用光学系500万画素カメラ。 |
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